產(chǎn)品中心
主軸配備高性能交流永磁同步電機，連續(xù)額定輸出扭矩可達13.5N.m。
高性能電機:主軸配備高性能交流永磁同步電機，連續(xù)額定輸出扭矩可達13.5N.m，強勁扭力輕松應(yīng)對碳化硅等超硬材料的加工需求。
高效率冷卻系統(tǒng):三段式冷卻結(jié)構(gòu)提升冷卻效率，溫升小，熱穩(wěn)定時間≤20min，熱伸長波動≤100nm。非接觸式軸芯中心出水結(jié)構(gòu)和砂輪冷卻流道同時冷卻軸芯和砂輪，提高加工過程中的精度保持和表面處理質(zhì)量，減少因溫度波動導(dǎo)致的加工誤差。
高加工質(zhì)量:主軸全轉(zhuǎn)速振動≤0.1mm/s，軸向剛度450N/μm，徑向剛度150N/μm，回轉(zhuǎn)運動誤差低至20納米，使得8英寸工件研磨后表面TTV<3μm，粗糙度Ra≤0.02μm，保障了晶圓等產(chǎn)品的高質(zhì)量加工。
| 技術(shù)參數(shù) |
| 序號 | 項目 | 標(biāo)準(zhǔn)值 |
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